自動滅火系統中的開式系統，平時敞開的管道不能滿足潔凈車間無塵無菌的要求;閉式系統管道中又經常充滿滅火介質，免不了偶有泄漏，污染空氣，所以自動滅火系統不宜用于凈化車間。
為防止起火和燃燒，便利疏散與搶救，對防火墻間最大允許占地面積和防火分隔以及疏散路線等，一般應比其他建筑有更高的要求。出入口或拐彎處應有緊急照明燈。使用易燃液體和氣體的電子廠凈化車間，應安裝排風設備，操作臺應有獨立的排風裝置。易燃液體蒸氣和氣體的尾氣管應與排風系統分開。
高靈敏度早期煙霧探測裝置的消防安全設施聯動試運轉，應符合下列要求：
1，應按工程設計文件的相關要求進行調試，并達到相關技術指標；
2，在潔凈室內各專業驗收合格后進行；
3，聯動試運轉應在各子系統試車驗收合格后進行；
4，聯動試運轉應包括事故排風裝置、氣體自動切斷裝置等安全設施；
5，應遵守相關的現行國家標準的要求；
6，聯動試運轉應以相關主管部門的認可為合格。
消防、安全設施的各類火災報警裝置、氣體報警裝置、廣播通訊設施以及它們的控制系統的電氣線路的施工安裝，應符合下列規定：
1， 接至潔凈室（區）內的垂直線路應穿管安裝，共穿墻、頂棚時，應采用氣密構造，并以防火填料進行可靠填堵；
2， 電氣線路應選用阻燃電纜。
