表 潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級
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空氣潔凈 |
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（Pc/m3 ） |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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1 |
10 |
2 |
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2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
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5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
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6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
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7 |
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352000 |
83200 |
2930 |
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8 |
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3520000 |
832000 |
29300 |
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9 |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
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注:①每個采樣點應至少采樣3次. 潔凈度等級標準
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式中 Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3).Cn是以四舍五入至相近的整數,有效位數不超過三位數.
N——潔凈度等級,數字不超出9,潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為最小允許遞增量.
D——要求的粒徑(μm).
0.1——常數,其量綱為μm.
3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(空態,靜態,動態)應與業主協商確定.
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法按附錄C要求進行.
